東京ビッグサイト

SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International)

 当社ブースでは4つのカテゴリーに分け、製品展示します。
信頼性が要求される半導体製造装置用途向けに産業用コントローラ「μPIBOC D1/D2」、データ収集システム「MAGNILOG」。
半導体製造装置のプラズマ発生用高周波電源やインピーダンス整合器に組込まれる「真空コンデンサ」。
半導体の各工程で応用可能な「ピュアオゾンジェネレータ」などについてパネルや実機を展示します。

1.ハードウェアソリュ－ション
・産業用コントローラ μPIBOC D1
・産業用コントローラ μPIBOC D2
・Mini ITXボード(BayTrail搭載CPUボード)
2.ソフトウェアソリュ－ション
・半導体製造装置データ収集システム MAGNILOG/FDC、MAGNISNIFFER
・半導体製造装置EDAサポートパッケージ CIMPortal
・EDA対応データ収集クライアント　EDAViewer+
・半導体製造装置ホスト通信パッケージ CIMConnect・CIM300
・ホスト通信シミュレータ　TESTConnect Plus
3．真空コンデンサ
・真空固定コンデンサ
・真空可変コンデンサ
・モータ付真空可変コンデンサ
4.ピュアオゾンジェネレータ

是非お気軽にお立ち寄り下さい!