真空可変コンデンサの静電容量制御に必要な制御系を全てモジュール化しました。
簡単なシリアルコマンドだけで、複雑なインピーダンス整合制御を実現。
半導体製造装置の高周波プラズマ整合回路や、RF 電源回路への組込みに最適です。
・真空可変コンデンサの静電容量をシリアル通信（RS485）により簡単に設定可能。モータ付きでご提供することにより、モータ部の開発・設計時間が短縮できます。
・光学式エンコーダを採用し、ステッピングモータ動作を常時監視。不慮のモータ脱調を検出し自動的に回復できます。モータと真空可変コンデンサは高絶縁（絶縁耐圧10kVp）の専用カップリングを用いて接続されています。
・RS485 でカスケード接続可能。複数のモータ付真空可変コンデンサを上位系コントローラから一本のシリアルラインで制御可能です。

• 簡単導入
• 高信頼動作
• カスケード接続可能