




製品特長
VMシリーズは長年の当社真空技術を基に、1992年に製品化した初代モデルです。
真空中の電極中心部にセンターピン(摺動ガイド部品)があり、画期的な真空摺動を実現しています。ベローズには高強度なステンレス材に導電率の優れた銅をコーティングした二層構造のベローズを採用しています。
・銅メッキステンレスにより、低損失・高強度を実現
・2 条ネジを採用することで、精密送りを実現
お取扱い上・運用上の注意点、また、特性に関する説明に関してはカタログをご覧ください。
- 低損失・高強度ベローズ
- 高強度・特殊ネジドライブ
- センターピン位置出し構造
仕様一覧
製品詳細に関しては、各形式に添付されているPDF(データシート)をご覧ください。
形式 | 静電容量(pF) | 電圧(kVp) | 最大許容電流※1 (Arms) |
外形寸法 (mm) |
質量 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 動作 |
ピーク 試験 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-150.5 | 10 | 50 | 9 | 15 | 27 | 76 | 68 | L140 × φ60.4 | 0.95 |
SCV-151 | 10 | 100 | 9 | 15 | 54 | 76 | 68 | ||
SCV-152 | 12 | 200 | 9 | 15 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-155G | 25 | 500 | 9 | 15 | 90 | 68 | 62 |
形式 | 静電容量(pF) | 電圧(kVp) | 最大許容電流※1 (Arms) |
外形寸法 (mm) |
質量 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 動作 |
ピーク 試験 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-152.5 | 30 | 250 | 9 | 15 | 100 | 76 | 68 | L140 × φ62.4 | 0.94 |
SCV-7.55 | 30 | 500 | 4.5 | 7.5 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-55 | 30 | 500 | 3 | 5 | 100 | 76 | 68 |
形式 | 静電容量(pF) | 電圧(kVp) | 最大許容電流※1 (Arms) |
外形寸法 (mm) |
質量 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 動作 |
ピーク 試験 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-155M | 50 | 500 | 9 | 15 | 100 | 76 | 68 | L140 × φ73 | 1.4 |
SCV-205G | 50 | 500 | 12 | 20 | 90 | 68 | 62 | ||
SCV-510M | 50 | 1000 | 3 | 5 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-1010G | 50 | 1000 | 6 | 10 | 90 | 68 | 62 | ||
SCV-514M | 90 | 1400 | 3 | 5 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-1014G | 90 | 1400 | 6 | 10 | 90 | 68 | 62 |
形式 | 静電容量(pF) | 電圧(kVp) | 最大許容電流※1 (Arms) |
外形寸法 (mm) |
質量 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 動作 |
ピーク 試験 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-204 | 80 | 450 | 12 | 20 | 100 | 76 | 68 | L140 × φ89 | 1.9 |
SCV-1010 | 80 | 1000 | 6 | 10 | 100 | 76 | 68 | ||
SCV-520M | 85 | 2000 | 3 | 5 | 100 | 76 | 68 |
形式 | 静電容量(pF) | 電圧(kVp) | 最大許容電流※1 (Arms) |
外形寸法 (mm) |
質量 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 動作 |
ピーク 試験 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-201.7G | 45 | 170 | 12 | 20 | 90 | 68 | 62 | L106 × φ63 | 0.8 |
SCV-104G | 60 | 450 | 6 | 10 | 90 | 68 | 62 |
形式 | 静電容量(pF) | 電圧(kVp) | 最大許容電流※1 (Arms) |
外形寸法 (mm) |
質量 (kg) |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Min. | Max. | RF 動作 |
ピーク 試験 |
13.56 MHz |
40 MHz |
60 MHz |
|||
SCV-300.2G | 6 | 20 | 18 | 30 | 21 | 64 | 62 | L100 × φ60.4 | 0.8 |
SCV-250.3G | 6 | 30 | 15 | 25 | 27 | 68 | 62 | ||
SCV-250.8G | 10 | 80 | 15 | 25 | 72 | 68 | 62 |
- ※1最大許容電流値は、30W熱伝導冷却時の値です。
オプション
ご要望に合わせて最適なオプションをご提案いたします。
- 軸受
- 真空可変コンデンサとモータとの芯ズレによる静電容量可変用ネジへの横荷重を低減します。

- 水冷フランジ
- 真空コンデンサの冷却能力を向上させます。真空可変コンデンサの可動側及び固定側に取り付ける水冷フランジを品揃えしています。
詳細はカタログをご覧ください。
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