データ収集設定画面

半導体製造分野向け機器EESプラットフォームパッケージ MAGNILOGシリーズ

ESSのためのデータの収集・蓄積・データ解析ツールまでをパッケージしています。SEMIスタンダード(EDA)およびSelete仕様(TDI)に対応しています。

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製品特長

システム構成例

データの収集・蓄積を容易にセットアップでき、既設の上位システムにも接続可能です。下記の各パッケージは独立しているため、様々なシステム構成に柔軟に対応可能です。
・MAGNILOG Logger・・・装置からのデータ収集
・MAGNILOG DBServer・・・収集したデータを蓄積
・Tool Data eXplorer(TDX)・・・収集したデータの解析・監視
優れたデータ解析アプリケーションTDX(Tool Data eXplorer)により、装置データの解析、FDC、SPC、多変量解析の実現が容易です。
技術資料(マニュアル等)のダウンロードについては技術サポートページをご覧ください。

  • EDA(オプション)、TDI(Tool Data Interface)に対応
  • データコレクションプランに対応
  • データ収集に必要な豊富な接続I/F
  • プログラムレスでセットアップ可能

用途・ソリューション

データ解析アプリケーションTDX(Tool Data eXplorer)は、製造ライン向けの装置データ解析・運転監視ツールです。MAGNILOGとの組み合わせでEESのトータルソリューションを提供します。

導入効果

  • プロセス(製品)品質の安定化
  • プロセスレシピ最適化のスピードアップ
  • 装置故障原因の早期発見
  • 装置予防保全の実現
  • 装置の搬入から稼働までの期間短縮

詳細についてはカタログをご覧ください。

仕様一覧

基本仕様・環境仕様についてはお問い合わせフォームからお気軽にお問い合わせください。

EDA Viewer+

EDA Viewer+は、EDA(Interface A)対応装置から、EDAインターフェースを介した装置詳細データを収集するパッケージソフトウェアです。EDA Viewer+を起動するだけで高品質なEDAデータ収集システムを構築できます。詳細についてはカタログをご覧ください。

MAGNISNIFEER

MAGNISNIFEER(装置データ収集ツール)は、装置とホストコンピュータ間のSECS通信をモニタし、必要なデータを収集するツールです。既存のSECS通信メッセージに存在しないデータも取得することができます。既設の製造ラインにMAGNISNIFFERを導入することにより、上位EESのための装置データを収集することができます。
詳細についてはカタログをご覧ください。

サポート体制

MAGNILOGシリーズは、その全てのコードが明電舎オリジナルです。お客様の質問やご意見も、カスタマーサポート窓口が直接お伺いし、直ちに対応させていただきます。
お客様サポートとして、専用窓口、トレーニングに加え、コンサルティングに至るまで豊富なメニューをご用意しております。

技術資料(マニュアル等)のダウンロードについては、技術サポートページをご覧ください。
下記の表はダウンロード対象製品一覧です。

MAGNILOGシリーズ

MAGNILOG DBServer

装置データ蓄積パッケージ

MAGNILOG Logger

装置データ蓄積パッケージ

MAGNILOG TDI DBServer

TDI対応 装置データ蓄積パッケージ

MAGNILOG TDI Logger

TDI対応 装置データ蓄積パッケージ

Tool Data eXplorer(TDX)シリーズ

TDX Analyzer

装置データ監視解析パッケージ

TDX Monitor

Fault Detection (FD)対応パッケージ
この製品に関するお問い合わせ
[電子機器事業部]

03-6420-7610