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CCFアーキテクチャ

半導体製造分野向け機器装置制御ソリューション CIMControl Framework™ (Cimetrix社製品)

半導体・液晶製造装置制御システム構築用フレームワーク

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製品特長

CIMControlFrameworkTM (CCF)は、最新のソフトウェアテクノロジを使用した半導体・液晶製造装置向けの制御システム構築用フレームワークです。
本フレームワークを利用することで、最新のSEMIスタンダードに準拠した製造装置制御ソフトウェアを、短期間かつ低コストにて開発することが可能です。

  • データドリブンアーキテクチャの採用による高速なデータハンドリングが可能
  • サービスオリエンテッドアーキテクチャの採用により、機能毎の追加やアップデートを高い生産性で実現
  • 最新のプログラミング環境の採用による、高効率な作業環境を提供
  • GEM/GEM300スタンダードに完全対応
  • EDA(フリーズバージョンII)に完全対応
  • オープンソースにより、ユーザサイトでのメンテナンスが可能

装置制御を容易に実現

「最新FABで要求される高次元な装置制御を容易に実現」

Cimetrix社がCIMPortalTMで培った高速データドリブンアーキテクチャを採用しており、フレームワーク内での高速なデータハンドリングを可能にしています。これにより、APCやFDCと言った最新のユーザニーズに容易に対応可能です。
また、C#による完全なオブジェクトオリエンテッドなコードで記述されたモジュラアーキテクチャであるため、モジュール間結合強度が低く、機能毎の追加やアップデートも容易です。
勿論、Cimetrix社の主力製品であるGEM/GEM300プロダクト及びEDAプロダクトを追加することで、最新のエンドユーザ要求仕様にも容易に対応可能です。
尚、CCFは、ユーザにソースコードが公開されてます。これは、装置開発における品質保証には重要な要素です。

関連SEMIスタンダード

  • SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
  • SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
  • SEMI E37 High-Speed SECS Message Services (HSMS)
  • SEMI E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
  • SEMI E40 Standard for Processing Management
  • SEMI E84 Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
  • SEMI E87 Specification for Carrier Management (CMS)
  • SEMI E90 Specification for Substrate Tracking
  • SEMI E94 Specification for Control Job Management
  • SEMI E95 Specification for User Interface
  • SEMI E99 Specification for SECS-I and SECS-II Protocol for Carrier ID Reader/Writer Functional Standard
  • SEMI E116 Specification for Equipment Performance Tracking
  • SEMI E120 Specification for the Common Equipment Model (CEM)
  • SEMI E125 Specification for Equipment Self Description (EqSD)
  • SEMI E132 Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
  • SEMI E134 Specification for Data Collection Management
  • SEMI E148 Specification for Time Synchronization and Definition of the TS-Clock Object
  • SEMI E157 Specification for Module Process Tracking (MPT)
この製品に関するお問い合わせ
[電子機器事業部]

03-6420-7610