CIMConnectTM アーキテクチャ
CIM300TM アーキテクチャ

半導体製造分野向け機器ホストオンラインソリューション CIMConnect™ ・CIM300™ (Cimetrix社製品)

半導体・液晶・太陽電池製造装置向けGEM/GEM300対応パッケージソフトウェア

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製品特長

CIMConnectTMは、半導体・液晶・太陽電池製造装置にGEMスタンダードを搭載するためのパッケージソフトウェアです。また、CIM300TMは、半導体製造装置にGEM300スタンダードを搭載するためのパッケージソフトウェアです。

  • 半導体・液晶・太陽電池製造装置向けの自動化対応プロダクトであり、世界中の多くの半導体・液晶・太陽電池製造メーカ様での動作実績があります。

CIMConnectTM対応SEMIスタンダード

  • E4 SECS-I (Serial protocol)
  • E5 SECS-II
  • E30 GEM
  • E37 HSMS-II (Ethernet protocol)

CIM300TM対応SEMIスタンダード

  • E4 SECS-I (Serial protocol)
  • E5 SECS-II
  • E30 GEM
  • E37 HSMS-SS (Ethernet protocol)
  • E39 Object Services
  • E40 Process Job
  • E87 Carrier Management
  • E90 Substrate Tracking
  • E94 Control Job
  • E116 Equipment Performance Tracking
  • E148 Time Synchronization and Definition
  • E157 Module Process Tracking
この製品に関するお問い合わせ
[電子機器事業部]

03-6420-7610