半導体製造分野向け機器高純度オゾンガス発生装置 ピュアオゾンジェネレータ
純度≒100%のオゾンガスを安全に連続して生成できる装置です。
製品特長
明電ピュアオゾンジェネレータは、オゾンを液化・蓄積し、連続で高純度オゾンガスを供給する装置です。高純度のため、半導体プロセス用の酸素ラジカル発生源としても使用可能です。また、安全性・信頼性に関しても「高純度・減圧にして危険な反応をさせない」という思想のもと、下記の通り安全な装置設計をしています。
- 非常時のための防爆設計
- 停電、異常時はフェールセーフシステムにより温度／圧力制御
- 停電時の緊急パージ機構
- オゾン爆発防止のため冷凍機の動作を維持する機能
- 万一、オゾン爆発が生じた場合でも、外部機器への機械的ダメージを発生させない構造
- 規格認証：国際安全規格 SEMI-S2、UL、NFPA、CEなどに準拠
- 品質保証：第三者認証機関によるトレーサガステストにより、ガス漏れに対する安全性を実証
用途・ソリューション
フィルムへの成膜（低温成膜技術）
- フィルムへの室温レベルでの膜形成
半導体プロセスにおけるアッシング（ピュアオゾン・エチレン技術）
- 高イオン注入後のアッシング（レジスト除去）
仕様一覧
仕様・外形図についてはカタログをご覧ください。
適用分野
| 分野 | 用途 | 適用技術 | 期待効果 |
|---|---|---|---|
| 環境 | 水処理 | ピュアオゾン処理 | 殺菌、脱臭 |
|
リサイクル |
炭素繊維分解 |
||
| 医療 | 新薬製造 （バイオテク） |
ピュアオゾン処理 | 有機合成 |
| フィルム | 有機膜 | •低温成膜 •ピュアオゾン・エチレン |
低温薄膜・バリア性 |
| 有機EL | 除去・密着・薄膜 | ||
| 食品包装・医療機器 | 殺菌/バリア性 | ||
| 太陽電池 | バリア性 | ||
| 材料 | 電極部材 | ピュアオゾン・エチレン | 酸化膜 |
| カーボン・ ナノチューブ |
|||
| 半導体 | マスク製造工程 | •ピュアオゾン処理 •ピュアオゾン・エチレン |
除去 |
| 前工程 | 酸化膜・除去 |
||
| 先端技術 | MEMS | •ピュアオゾン・エチレン | 洗浄・改質 |
| 分子線エピタキシー （MBE） |
ピュアオゾン処理 |
純粋酸化源 | |
| プリンテッド・ エレクトロニクス |
•低温成膜 |
改質・密着・低温薄膜 |
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