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常温成膜装置
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常温成膜装置
OER-ALD装置
(ハイバリア成膜)
常温で原子レベルの緻密な成膜(ALD)をすることができる装置
バッチ式PO-ALD装置(立体物・複数一括処理)
常温で立体物に原子レベルの緻密な成膜(ALD)をすることができる装置
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