製品特長
洗浄・アッシング・改質装置は、ピュアオゾンとエチレンによる化学反応により発生させた高活性なOHラジカルを、効率的に使用した装置です。
- ダメージレス：常温化学プロセスの為、熱/物理ダメージは一切なし
- 面内均一性：シャワーヘッド構造でガスを基板に吹き付ける為、 均一な処理が可能
- メンテナンスコスト低減：成膜はシャワーヘッド直下の反応の為、チャンバ内汚れが低減
- ランニングコスト削減：「常温による熱源の省力化」、「供給ガスの高効率化」により大幅なコスト削減が可能
用途・ソリューション
改質効果
効果
- 炭素繊維内部まで改質が可能
- 長期親水性（1か月以上）
- 熱ダメージ/物理ダメージ無し
除染/除去（アッシング）
効果
- 室内での高いアッシング速度
- 半導体フォトレジスト系全体にアッシングが可能
- 高イオン注入工程後のフォトレジストもポッピング無しで除去が可能
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