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半導体製造分野向け機器ホスト通信テストソリューション TESTConnect Plus

GEM/GEM300対応ホスト通信テスタ

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製品特長

TESTConnect Plusは、デバイスメーカへの装置納入の前に、装置のオンライン機能テストを実施するツールとして、半導体・液晶製造装置が搭載しているGEM/GEM300スタンダードをテストするソフトウェアです。また、デバイスメーカサイトでの通信ログを用いて、実機環境を再現する機能もあるため、装置納入後の通信トラブル解析・デバッグを高効率に実施可能。

  • 単なるメッセージ単位のトランザクションテストから、GEM/GEM300のシナリオテストを実施可能。

関連SEMIスタンダード

  • E4 SECS-I (Serial protocol)
  • E5 SECS-II
  • E30 GEM
  • E37 HSMS-SS (Ethernet protocol)
  • E39 Object Services
  • E40 Process Job
  • E87 Carrier Management
  • E90 Substrate Tracking
  • E94 Control Job
  • E116 Equipment Performance Tracking
  • E148 Time Synchronization and Definition
  • E157 Module Process Tracking
この製品に関するお問い合わせ
[電子機器事業部 営業部]

03-6420-7610