よくあるご質問(FAQ)半導体製造向けソフトウェアに関するよくあるご質問(FAQ)
ホスト通信システム MAGNIGEMシリーズ
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- QMAGNIGEMとはどのようなソフトウエアですか?
- A
MAGNIGEMは、半導体製造装置にGEMに準拠したホスト通信システムを構築するためのパッケージソフトウエアです。SECS-I、HSMSの通信インタフェース、SECS-II・GEM準拠の通信エンジンを備え、お客様の装置プログラムとのインタフェースを提供します。具体的な通信シナリオやメッセージなどをデータ定義感覚で設定すれば、ホスト通信機能をプログラムレスで構築可能です。お客様ですべて自社開発するよりも短納期・低コストでホスト通信システムを実現できます。
MAGNIGEM+ V02.00とバージョンアップし、より操作性の高いマンマシン、効率の良い開発環境を備え、GEM300にも対応可能となりました。 - QMAGNIGEMを装置に適用する際、ユーザは何をする必要がありますか?
- A
大まかに申し上げますと、次のようになります。
・ 装置のホスト通信仕様を作成する
・ 通信仕様に従い通信シナリオを作成する
・ MAGNIGEMと装置を仲立ちする「装置接続タスク」を製作する
(標準的な装置接続タスクはパッケージに同梱)
・ 必要に応じ、装置の制御ソフトを改修する
・ MAGNIGEMのデータ設定をする
「装置接続タスク」とのI/FはMAGNIGEMで用意しています。 - QMAGNIGEMではSEMIスタンダードのどれに対応していますか?
- A
下表のスタンダードに対応しております。
std 略称 MAGNIGEM+ V01.xx MAGNIGEM+ V02.00 E4 SECS-I ○ ○ E5 SECS-II ○ ○ E30 GEM ○ ○ E37 HSMS(SS) ○ ○ E40 PJM (○) E90 STS (○) E94 CJM (○) E87 CMS (○) - ※(○)は、GEM300用のアドオンパッケージ(オプション)にて対応しております。
- QMAGNIGEM+ を採用すると、どのようなメリットがありますか?
- A
スタンダードに則った通信制御機能が完成しており、コンフィグレーションデータの設定のみホスト通信環境を構築できます。また、装置固有の通信シナリオは、アイテム等のデータ設定と簡単なシーケンス定義で構築できます。一から設計・プログラミングすることに比べ、大幅な費用削減効果と開発期間短縮効果があります。
- QGEM300への対応は可能ですか?
- A
MAGNIGEM+ V02.00にて、アドオンパッケージという形で対応させていただいています。
- QGEMについてあまり詳しくないのですが、サポートはしていただけますか?
- A
お客様がスムーズにGEMを導入していただけるよう、コンサルティング、教育、システム構築のお手伝いなど、できる限りのサポートをさせていただきます。まずはご相談ください。