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導入事例真空ポンプ用 ブラシレスモータ(BLモータ)

真空ポンプ用ブラシレスモータ
導入効果

・半導体製造装置用真空ポンプ用ブラシレスモータ。
・小型、軽量化を実現。
・高性能ネオジム磁石採用し高効率化
・CANモータ(腐食性ガス対応)
・精密機械加工による高信頼性モータ

仕様一覧

用   途 仕  様 回転数 定格トルク
真空ポンプ用 ネオジムインナーロータモータ(ビルドイン構造)
サイズ:φ100×Lg 47.5/67.5
4900/3500min-1 定格トルク:0.78/2.05N・m
ネオジムインナーロータモータ(ビルドイン構造)
サイズ:φ100×Lg 145
8000min-1 7.2N・m
ネオジムインナーロータモータ(ビルドイン構造)
サイズ:φ210×Lg 100
6400min-1 11.2N・m

この事例で採用している製品・サービス

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