無アルカリガラス（100mm角）へOER処理した結果は以下となります。

液接触角（弊社実施条件）

未処理の接触角に対し、OER処理後は低接触角、超親水化となります。
プラズマと比較し、常温かつ短時間で表面処理が可能です。

	条件	処理可能温度	処理の様子
未処理	-	33.7°
OER改質	15~30°C、35~70%RH	5.2°
O2プラズマ	処理時間：150℃ 処理時間：8分 出力　　：150W	6.8°

短時間・低温処理での超親水化

経時変化（ご参考：測定環境クリーンルーム内、20℃/50％）

OER処理後から3日間など長時間の改質効果を維持する事ができます。

表面粗さ

OERは化学反応で表面処理する為、下地への物理的なアタックはなく、基材表面のダメージレス、表面粗さ変化なしを実現できます。

OERは表面ダメージレス、表面粗さ変化なし
プラズマは約3倍 表面が粗い、表面ダメージあり

■OERはピュアオゾンとエチレンガスの混合でOHラジカルを発生させる為、水洗浄が不要です。
　その為、アニール温度を低減する事ができます。
■OERは下地基材との化学反応である為、プラズマ処理のような基材への物理的アタックはありません。
　その為、基材へのダメージレスを実現、かつ削る要素が無い為、ダストレスを実現できます。

従来技術（プラズマ親水化接合）

• プラズマ不要
• 基材へのダメージレス、ダストレス
• フッ素に次ぐ酸化力で表面のダングリングボンドと反応
• 水フリープロセスでのOH基直接修飾

東北大学様と実施したハイブリッド接合の事例です。

OERは常温でアッシングが可能です。高イオン注入後のフォトレジストもポッピング無しで除去
できます。またOERは化学反応で処理する為、処理炉の汚染が起きにくいです。

OERはトレンチ構造への表面処理が可能です。ガスの回り込み性を生かし、トレンチへの改質、濡れ性向上により、めっき前処理にご提案できます。

トレンチ構造への表面処理が可能