ピュアオゾンは、その高濃度（80％以上）と強力な酸化力により、さまざまな分野で利用されています。ピュアオゾンの利用は、プロセスの効率化や製品の品質向上に寄与します。

ALD用酸化源

低温成膜が可能であり、従来の酸化源に比べて高い反応性、生産性向上を期待できます。

MBE用酸化源

ピュアオゾンガスは低不純物であり、高純度（ppbオーダー）のオゾンガスをご提案できます。

洗浄、クリーニング

ピュアオゾンと有機コンタミを反応させ、効率的で環境に配慮した洗浄・クリーニング方法として注目されています。

表面処理

ピュアオゾンと有機コンタミを反応させ、効率的で環境に配慮した洗浄・クリーニング方法として注目されています。