明電舎で長年にわたり磨いてきた高純度・高濃度オゾンガス「ピュアオゾン」をご提案します。

ピュアオゾン生成技術およびOHラジカル発生技術は、成膜、表面改質、洗浄など、さまざまなプロセス技術に革新をもたらします。

ピュアオゾンは半導体、光学デバイス、太陽電池といった分野において、新たな生産性の向上と環境負荷の低減を実現します。