当社が誇る基礎技術は、「ピュアオゾン生成技術」と「OER（Ozone-Ethylene Radical）技術」です。
ピュアオゾン（100％オゾン）は、オゾナイザーで発生する10％程度オゾンガスを冷却・液化することで高濃度のピュアオゾンを安定的に発生する独自技術。ALD成膜やMBE用酸化源、洗浄・クリーニングといった分野での利用が進んでいます。
さらに、OER技術では、ピュアオゾンとエチレンガスを独自の手法で混合し、OHラジカルを効率的に生成。
常温、短時間でOHラジカルを発生し、改質・親水化、接合前の前処理などに利用されています。

高純度・高濃度オゾンガス「ピュアオゾン」について

長年にわたり磨いてきたオゾン発生技術でオゾンガス濃度80％以上を保証

ピュアオゾン技術について

酸素を含むオゾンガスを冷却・液化することで、高純度・高濃度のピュアオゾン（80％以上オゾン）を生成する画期的な技術

OER技術について

ピュアオゾンとエチレンガスを混合してOHラジカルを発生させる技術