【展示内容】
世界初！ピュアオゾンを用いた常温OER-ALD成膜装置のご紹介
Al2O3膜、SiO2膜、TiO2膜成膜ご紹介
PO-ALDによる立体成膜・粉体成膜技術ご紹介
高トレンチ成膜技術のご紹介
「常温ALD装置模型」「成膜サンプル」（予定）
※OER：Ozone-Ethylene Radical generation technology
※PO：Pure-Ozone

また、今年はなんと！オンラインバーチャルブースも同時開催しております！

＜バーチャルブースでできること＞
ビデオ通話で個別の商談
チャット機能で気軽に質問・相談
ワンクリックで資料のダウンロード
アポイントの申請

事前にアポイントを予約頂ければ、当日に弊社担当とオンライン商談が可能です！
展示会場にご来場いただくのと、変わらないサービス・製品にてお待ちしております！
遠方でご来場が難しい場合、是非こちらもご利用ください。