施設・産業装置制御ソフトウェア開発
半導体製造装置は、超微細加工を全自動で行い、nonstopの高い信頼性を求められる。
この半導体製造装置に求められる超微細化工をオブジェクト指向設計による高い信頼性と、長年に渡るリアルタイム制御技術により実現しています。
また、FABの上位システム（ホスト）と半導体製造装置の通信を効率よく開発します。
・半導体製造装置の制御ソフトウェア開発、ウェハ搬送計画、各種チャンバ制御、レシピ編集、etc
・GEM（E30）に準拠したホスト通信システムの開発
・300mmウェハに必須のGEM300規格
（CJ/PJ/CMS/etc）に準拠した装置ならびにホスト通信システムの開発
特長
- MAGNIGEM+/MAGNIGEM Proを使用
SECS-I、SECS-II、HSMS、GEM、GEM300スタンダードのオールインワンによる効率的な開発が可能 - GEM300規格を熟知した技術者集団
- 長年培ったリアルタイム制御技術
- TCP/IP、Serial、PIO、PLC、COM等、あらゆる通信に精通した豊かな経験と技術
適用技術
- Windows、Linux
- C、CV++、C#、VB、Java、XML/SORP
- TCP/IP、Serial、PIO、PLC、COM、.NET、その他
- SEMI規格（GEM、GEM300、SECS、他）
- オブジェクト指向技術
- リアルタイム制御技術
システム構成
業務実績
- コンサル
- 仕様
- システム設計
- 製作
- 試験
- 実機調整（ソフトウェア）
- 教育
- 保守
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