製品特長

データの収集・蓄積を容易にセットアップでき、既設の上位システムにも接続可能です。下記の各パッケージは独立しているため、様々なシステム構成に柔軟に対応可能です。
・MAGNILOG Logger・・・装置からのデータ収集
・MAGNILOG DBServer・・・収集したデータを蓄積
・Tool Data eXplorer（TDX）・・・収集したデータの解析・監視
優れたデータ解析アプリケーションTDX（Tool Data eXplorer）により、装置データの解析、FDC、SPC、多変量解析の実現が容易です。
技術資料（マニュアル等）のダウンロードについては技術サポートページをご覧ください。

• EDA（オプション）、TDI（Tool Data Interface）に対応
• データコレクションプランに対応
• データ収集に必要な豊富な接続I/F
• プログラムレスでセットアップ可能

用途・ソリューション

データ解析アプリケーションTDX（Tool Data eXplorer）は、製造ライン向けの装置データ解析・運転監視ツールです。MAGNILOGとの組み合わせでEESのトータルソリューションを提供します。

導入効果

• プロセス（製品）品質の安定化
• プロセスレシピ最適化のスピードアップ
• 装置故障原因の早期発見
• 装置予防保全の実現
• 装置の搬入から稼働までの期間短縮

詳細についてはカタログをご覧ください。

仕様一覧

基本仕様・環境仕様についてはお問い合わせフォームからお気軽にお問い合わせください。

EDA Viewer+

EDA Viewer+は、EDA（Interface A）対応装置から、EDAインターフェースを介した装置詳細データを収集するパッケージソフトウェアです。EDA Viewer+を起動するだけで高品質なEDAデータ収集システムを構築できます。詳細についてはカタログをご覧ください。

MAGNISNIFEER

MAGNISNIFEER（装置データ収集ツール）は、装置とホストコンピュータ間のSECS通信をモニタし、必要なデータを収集するツールです。既存のSECS通信メッセージに存在しないデータも取得することができます。既設の製造ラインにMAGNISNIFFERを導入することにより、上位EESのための装置データを収集することができます。
詳細についてはカタログをご覧ください。

サポート体制

MAGNILOGシリーズは、その全てのコードが明電舎オリジナルです。お客様の質問やご意見も、カスタマーサポート窓口が直接お伺いし、直ちに対応させていただきます。
お客様サポートとして、専用窓口、トレーニングに加え、コンサルティングに至るまで豊富なメニューをご用意しております。

技術資料（マニュアル等）のダウンロードについては、技術サポートページをご覧ください。
下記の表はダウンロード対象製品一覧です。