よくあるご質問(FAQ)半導体製造分野向け機器に関するよくあるご質問(FAQ)

ホスト通信システム MAGNIGEMシリーズ

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QMAGNIGEMとはどのようなソフトウエアですか?
A



MAGNIGEMは、半導体製造装置にGEMに準拠したホスト通信システムを構築するためのパッケージソフトウエアです。SECS-I、HSMSの通信インタフェース、SECS-II・GEM準拠の通信エンジンを備え、お客様の装置プログラムとのインタフェースを提供します。具体的な通信シナリオやメッセージなどをデータ定義感覚で設定すれば、ホスト通信機能をプログラムレスで構築可能です。お客様ですべて自社開発するよりも短納期・低コストでホスト通信システムを実現できます。
MAGNIGEM+ V02.00とバージョンアップし、より操作性の高いマンマシン、効率の良い開発環境を備え、GEM300にも対応可能となりました。

QMAGNIGEMを装置に適用する際、ユーザは何をする必要がありますか?
A



大まかに申し上げますと、次のようになります。
・ 装置のホスト通信仕様を作成する
・ 通信仕様に従い通信シナリオを作成する
・ MAGNIGEMと装置を仲立ちする「装置接続タスク」を製作する
(標準的な装置接続タスクはパッケージに同梱)
・ 必要に応じ、装置の制御ソフトを改修する
・ MAGNIGEMのデータ設定をする
「装置接続タスク」とのI/FはMAGNIGEMで用意しています。

QMAGNIGEMではSEMIスタンダードのどれに対応していますか?
A



下表のスタンダードに対応しております。

std 略称 MAGNIGEM+ V01.xx MAGNIGEM+ V02.00
E4 SECS-I
E5 SECS-II
E30 GEM
E37 HSMS(SS)
E40 PJM   (○)
E90 STS   (○)
E94 CJM   (○)
E87 CMS   (○)
  • (○)は、GEM300用のアドオンパッケージ(オプション)にて対応しております。

QMAGNIGEM+ を採用すると、どのようなメリットがありますか?
A



スタンダードに則った通信制御機能が完成しており、コンフィグレーションデータの設定のみホスト通信環境を構築できます。また、装置固有の通信シナリオは、アイテム等のデータ設定と簡単なシーケンス定義で構築できます。一から設計・プログラミングすることに比べ、大幅な費用削減効果と開発期間短縮効果があります。

QGEM300への対応は可能ですか?
A



MAGNIGEM+ V02.00にて、アドオンパッケージという形で対応させていただいています。

QGEMについてあまり詳しくないのですが、サポートはしていただけますか?
A



お客様がスムーズにGEMを導入していただけるよう、コンサルティング、教育、システム構築のお手伝いなど、できる限りのサポートをさせていただきます。まずはご相談ください。