UWタイプ仕様

真空コンデンサモータ付真空可変コンデンサ

高精度な静電容量制御に対応。真空可変コンデンサを初めてご使用になる方、開発期間を短縮したい方に最適です。

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製品特長

構成概要図
カスケード接続例

真空可変コンデンサの静電容量制御に必要な制御系を全てモジュール化しました。
簡単なシリアルコマンドだけで、複雑なインピーダンス整合制御を実現。
半導体製造装置の高周波プラズマ整合回路や、RF 電源回路への組込みに最適です。
・真空可変コンデンサの静電容量をシリアル通信(RS485)により簡単に設定可能。モータ付きでご提供することにより、モータ部の開発・設計時間が短縮できます。
・光学式エンコーダを採用し、ステッピングモータ動作を常時監視。不慮のモータ脱調を検出し自動的に回復できます。モータと真空可変コンデンサは高絶縁(絶縁耐圧10kVp)の専用カップリングを用いて接続されています。
・RS485 でカスケード接続可能。複数のモータ付真空可変コンデンサを上位系コントローラから一本のシリアルラインで制御可能です。

  • 簡単導入
  • 高信頼動作
  • カスケード接続可能
この製品に関するお問い合わせ
[電子機器事業部]

03-6420-7610