ホスト通信システム MAGNIGEM
製品ラインナップ
MAGNIGEM Pro ロゴ画面
MAGNIGEM+ ロゴ画面
- MAGNIGEM Pro/Pro300
GEM/GEM300スタンダード対応のパッケージソフトウェア
前工程装置の新規開発時に適しています。 - MAGNIGEM+ V2.0
GEMスタンダード対応のパッケージソフトウェア
既存の200mm前工程装置のオンライン化に適しています。 - MAGNIGEM+ 300
GEM300スタンダード対応のパッケージソフトウェア
既存の300mm前工程装置のオンライン化に適しています。 - MAGNIGEM+ Light
SECS-IIシナリオ(Non-GEM)を構築するためのパッケージソフトウェア
液晶製造装置等のオンライン化に適しています。 - MAGNISECS
SECS-II単体ソフトウェアモジュール メッセージコンバータやEFEM制御アプリを構築する際のコンポーネントです。
製品コンセプト
MAGNIGEM Pro/Pro300
| 名称 | 記号 |
| SECS-I | E4 |
| SECS-II | E5 |
| HSMS-SS | E37 |
| GEM | E30 |
| Carrier Management (CMS) | E87 |
| Object Management (OSS) | E39 |
| Process Management (PJM) | E40 |
| Control Job Management (CJM) | E94 |
| Carrier ID Reader/Writer (CIDRW) | E99 |
| Substrate Tracking (STS) | E90 |
| Equipment Performance Tracking (EPT) | E116 |
- 装置新規開発時に最適な機能をモジュール化
- オブジェクト指向、機能モジュールの組合わせにより柔軟に対応
- Windowsプラットフォーム対応、COMインタフェース(VC++、VBおよびVC#に対応)
- 対応スタンダードは右表のとおり
MAGNIGEM+
- 既存装置への後付対応に最適
- SECS-IIシナリオからGEM300まで幅広く対応(対応装置ごとの価格戦略)
- Windowsプラットフォーム対応、ActiveXインタフェース(VC++およびVB対応)
MAGNIGEM Pro/Pro300の特長
多様な装置構成に対応
- 単一コントローラ(PC)で制御系まで含めて装置1台を制御
- MAGNIGEMが動作するコントローラ(PC)と複数の装置制御コントローラと接続して制御
- 定義データは外部とのインポート/エクスポート機能により、工数大幅削減が可能
- ロギング、モニタ機能もご用意(HOST通信、E99、関数I/F)
使いやすい開発ツール
- 標準データをもとにしたデータ定義により、エンドユーザ仕様の実装が、短納期- 低コストで作成可能
- MAGNIGEM Proとお客様作成アプリケーションの各種I/Fライブラリ関数を用意
- 定義データのインポート/エクスポート機能により、横展開における工数削減が可能
- ロギング、モニタ機能もご用意(HOST通信、E99、関数I/F)
実績豊富なGEMエンジン
- 実績豊富なMAGNIGEM+の仕様を踏襲し、新たに作り直されたブランニューエンジン
- 様々なコンフィグレーションパラメータ
GEMスタンダードの進化にも対応
- GEMコンプライアンスに従った各機能をパッケージ化
- アップグレードによるスタンダードの変更や、オプションパッケージによる機能追加も可能
豊富な拡張性
- プロジェクト単位での管理により、単一コントローラで複数の装置の制御が可能
- また、単一コントローラで複数のHOSTとの通信が可能
MAGNIGEM Pro 開発ツールウィンドウ
※「MAGNIGEM」は株式会社明電舎の登録商標です。
